低压化学气相沉积系统

"一．核心技术指标：
系统：3管6英寸卧式系统；两管要求配置齐全；两管中其中一管后续可升级到石墨烯工艺；最上管需预留安装空间，方便以后升级；
1.恒温区长度：≥500 mm
2.控温精度：静态闭管≤±0.5 ℃；
3.自动控制温度及工艺过程，串级控温 24 小时±0.5 ℃
4.温度斜变能力：最大升温速率：15 ℃/min（室温～1000 ℃）
5.进料方式：悬臂桨
6.控制系统：采用进口的嵌入式控制系统
7.压力蝶阀配置：进口蝶阀
8.薄膜规：采用进口的薄膜规
9.设备顶部要有水冷散热器
10.净化台区域洁净度要求 100 级
11.气路系统：气路接口采用 VCR 连接， MFC和相应的阀门，保证气路高洁净度，高密封性，高安全性，工艺气体要求：高纯 N2、SiH4、NH3、SiH2Cl2、O2；
1）流量精度满足： ≤ ±1 % F.S
2）气密性满足：漏率≤1×10-9 pa.m3/s

"1、设定工艺温度和流量曲线功能。2、 温度和流量实时显示功能。3、各种报警显示功能。4、各种参数定时采样记录功能。采样周期可修改。5、温度曲线实时显示功能，温度曲线保存功能。
f) 对系统的开关量控制功能。
g) 各种参数在线查询、修改、设定。
h) 分级权限（多重密码）的管理功能。
i) PC设定工艺参数并对系统各状态进行监控记录，方便快捷。
j) PLC为主控单元，既解决了单片机控制抗干扰性差的问题，又解决了工控计算机死机的问题。

镀膜

1)收费标准中仅为机时费，我方不负责检测或制作样品成败之责。需根据样品具体特性和要求面议! 2)时间计算:从样品装载及开机准备起算，至少收取一小时费用，其后以半小时为单位计价，未满半小时以半小时计价。3）按小时收费

校外：800元/小时；校内：600元/小时；院内：500元/小时