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半导体单晶外延薄膜分析仪

规格型号:SmartLab SE
仪器分类:其他仪器 -> 其他 -> 其他
生产厂商: 株式会社理学
仪器类别: 专用
仪器状态: 正常
郑州轻工业大学
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1 X射线发生器:最大输出功率:3kW,管电压、管电流的启动、调节、关闭均由计算机控制。高压稳定度:±0.005% (外电路波动±10%)2 X射线光管:陶瓷Cu靶X射线管,功率:2.2kW,额定电流:2~60mA;额定电压;20~60kV;最小焦斑尺寸:0.4 × 12mm2。3 X射线防护:仪器自带安全连锁机构、剂量优于国标,辐射量小于0.5mSv/h。4 光学编码θ/θ测角仪系统:配备光学编码系统。要求如下:4.1 扫描方式:θ/θ可联动或单动,样品水平方式4.2 高精度光学编码,角度最小步进:1/10000°4.3 设定重复性:1/10000?4.4 测角仪半径:300 mm4.5 测角仪扫描范围:-10~163°(标准样品台)
SmartLab SE型单晶外延薄膜分析仪利用X射线分析多晶材料的各种属性。是一台由分析测试单晶外延薄膜织构为主,兼具X衍射粉末物相分析等功能的综合性仪器。仪器配置有能快速变换的一体化聚焦、平行光路、多功能样品台和一维半导体阵列检测器等。仪器具有自动调整光路系统、自动狭缝系统、薄膜分析系统、织构系统等及数据分析软件等;探测器适合从低角度(2θ 0.3°)到高角度的信号检测。
SmartLab SE型单晶外延薄膜分析仪利用X射线分析多晶材料的各种属性。是一台由分析测试单晶外延薄膜织构为主,兼具X衍射粉末物相分析等功能的综合性仪器。仪器配置有能快速变换的一体化聚焦、平行光路、多功能样品台和一维半导体阵列检测器等。仪器具有自动调整光路系统、自动狭缝系统、薄膜分析系统、织构系统等及数据分析软件等;探测器适合从低角度(2θ 0.3°)到高角度的信号检测。
SmartLab SE型单晶外延薄膜分析仪利用X射线分析多晶材料的各种属性。是一台由分析测试单晶外延薄膜织构为主,兼具X衍射粉末物相分析等功能的综合性仪器。仪器配置有能快速变换的一体化聚焦、平行光路、多功能样品台和一维半导体阵列检测器等。仪器具有自动调整光路系统、自动狭缝系统、薄膜分析系统、织构系统等及数据分析软件等;探测器适合从低角度(2θ 0.3°)到高角度的信号检测。
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