光谱型椭圆偏振仪

1. 测量光谱范围：240-2500 nm
2. 可变入射角范围：计算机自动控制入射角大小，范围：20-90度。
3. 系统准确性：将系统置于“对打”（90度入射角）方式，并确认光束没有被样品台挡住，设定步长，使用AutoRetarder，在100次平均高精度模式下获得数据。其结果将是： ：45°±0.03°； ：0°± 0.05° ；（240nm~2200nm）。
4. 系统重复性：在25nm SiO2/Si片上测试（入射角为65° 可见/近红外区）SiO2厚度标准偏差<=0.005nm（30次测量的标准偏差）。
5. 光学聚焦件：可将光斑缩小至200um。

通常用来测量及研究薄膜的紫外光学特性，如光刻胶等

通常用来测量及研究薄膜的紫外光学特性，如光刻胶等

薄膜样品

1. 校内用户：样品测试费：1元/个 样品处理费：150元/个
2. 校外用户：校内用户价格的二倍