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有机薄膜真空沉淀系统

规格型号:Trovato300C
仪器分类:工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 电真空器件工艺实验设备
生产厂商: Trovato300C
仪器类别: 专用
仪器状态: 正常
河南大学
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可实现0.0005纳米/秒的稳定沉积速率,1000:1的薄膜掺杂率。真空装置可在15分钟内达到1×10-6 Torr真空度,同时可实现无需终端真空12个图案与4个基片的更换。,且更换时间小于15秒。
用以组装定制有机-无机混合型QLED器件
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