欢迎访问开封市科研设施与仪器共享服务平台!
0371-25959123
登录 | 注册
大家都在搜： 原子吸收分光光度计 紫外
首页| 仪器资源| 科研仪器

原子层薄膜沉积仪

规格型号：Angstrom-Dep V
仪器分类：工艺实验设备 -> 加工工艺实验设备 -> 其他
生产厂商： 美国埃米薄膜技术公司
仪器类别： 专用
仪器状态： 正常
河南大学
登录用户才能看到联络人信息和联络方式，请登录
1，晶片样品台尺寸：直径可达4英寸；2，基底可加热至520℃，腔壁可加热至150℃；3，等离子ALD附件：远程脉冲等离子源1套, 无需水冷，功率可到300瓦，用来在晶片样品上生长金属、氮化物和硫化物薄膜。
设备可在晶圆表面或纳米颗粒表面沉积共形的氧化物、氮化物和硫化物等薄膜和金属薄膜，并可对薄膜厚度在原子层量级进行精确控制。
粉末、晶圆蒸镀纳米共形薄膜
最多提前预约 7 天,最少提前 10 分钟预约
20元 / 样品，样品制备设备
热门预约

多段编程生化培养箱

分类：分析仪器 -> 其他 -> 其他

服务次数：345

  河南省水产科学研究院

单光子激光共聚焦显微镜

分类：分析仪器 -> 显微镜及图像分析仪器 -> 激光共焦显微镜

服务次数：240

  河南省立眼科医院

扫描电子显微镜

分类：分析仪器 -> 电子光学仪器 -> 扫描电镜

服务次数：234

  郑州航空工业管理学院

总有机碳分析仪

分类：分析仪器 -> 环境与农业分析仪器 -> 土壤养分测试仪

服务次数：230

  河南省水产科学研究院

液相色谱仪

分类：分析仪器 -> 色谱仪器 -> 液相色谱仪

服务次数：224

  河南省水产科学研究院

多通道连续流动分析仪

分类：分析仪器 -> 质谱仪器 -> 同位素质谱仪

服务次数：203

  河南省农业科学院植物营养与资源环境研究所

主办：开封市科学技术局  承办：开封市科技创新发展中心

地址：河南省开封市市直机关综合办公楼  电话：0371-25959123

豫ICP备10205138号-2
Copyright©2021 www.kfiss.cn All Rights Reserved 访问统计：214135