超高分辨率场发射扫描电子显微镜

1、电子发射源：Schottky型场发射（热场发射）电子源
2、加速电压：20V ～ 30 kV，每档10 V步长连续可调
3、分辨本领 二次电子像分辨率15 kV时优于0.8nm 1 k V时优于1.6 nm
4、探针电流 5 pA－20 nA ，稳定性: 优于 0.1%/h 放大倍率 范围：12 ～ 2000,000倍 5、七孔光阑.通过自动补偿套件可达到精准合轴，光阑尺寸:7 µm, 10 µm, 15 µm, 20 µm, 30 µm, 60 µm, 120 µmX射线能谱仪
6、X射线探测器：硅漂移晶体，超薄窗口，完全独立真空；晶体实际面积不小于30 mm2，有效采集面积不小于20mm2
7、分辨率MnKa优于127eV，C Ka优于56eV，F Ka优于65eV（20000CPS）；在不同计数率下谱峰稳定，分辨率衰减小于1eV。"

样品的微观二次电子形貌像、高分辨背散射图像、基于EDS能谱仪的元素分析及元素分布成像。

样品的微观二次电子形貌像、高分辨背散射图像、基于EDS能谱仪的元素分析及元素分布成像。

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