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大家都在搜: 原子吸收分光光度计 紫外

反应式等离子蚀刻机

规格型号:RIE-150
仪器分类:工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
生产厂商: 北京芯微诺达科技有限公司
仪器类别: 通用
仪器状态: 正常
郑州大学
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1.基片尺寸:6英寸及以下;
2.射频电源:等离子体源1000W,13.56 MHz;偏置源300W,13.56 MHz.
1.控压阀门:电动预设位置;
2.温度控制:循环水冷控制载片台温度;
3.工艺气体:7路气体;
4.工艺性能:金属氧化物材料、三五族材料及硅材料蚀刻
晶圆蚀刻
预约请提前联系。
院内 600元/小时;校内800元/小时;校外1000元/小时。不足一小时按一小时计算。
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