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磁控溅射镀膜机

规格型号:Sputter-150
仪器分类:工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
生产厂商: 北京芯微诺达科技有限公司
仪器类别: 通用
仪器状态: 正常
郑州大学
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1.基片尺寸:6英寸圆片及以下;
2.极限真空:7.6*10-5 帕斯卡;
3.三个靶枪;
4.二路工艺气体
晶圆表面镀膜,可依程序自动调节进气种类,流速和温度等参数。
晶圆镀膜
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院内:400元/小时;校内:500元/小时;校外700元/小时。不足一小时按一小时收费。
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