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真空薄膜气相沉积设备

规格型号:定制
仪器分类:分析仪器 -> 样品前处理及制备仪器 -> 其他
生产厂商: Kurt J. Lesker
仪器类别: 通用
仪器状态: 正常
河南大学
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在量子点发光二极管应用中对有机薄膜沉积速率的控制精度可达0.1A/s;在有机源共蒸发制膜工艺中其掺杂比例可达到100:1;
该薄膜真空沉积系统原理是在真空容器中将蒸镀材料(有机小分子或金属原料)加热,在高真空条件下,分子或离子从蒸发源迁徙到基体表面沉积形成薄膜。
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