扫描探针显微镜

1.扫描器：平板扫描器，三轴分离，不接受管式扫描器，扫描器出厂后无需校准；扫描范围：XY方向不小于120 μm，闭环传感器噪音< 0.6 nm (ADev, 0.1-1kHz)，Z方向扫描范围不小于15 μm，闭环传感器噪音<0.25 nm (ADev, 0.1-1kHz)；样品尺寸：样品台直径不少于80 mm，厚度不小于10 mm。2. 检测器：直流激光探测器噪音<15 pm；系统高度噪音<50 pm(ADev, 0.1-1kHz)。3. 控制器：全数字双频锁相放大器，输出频率在10MHz的双频率合成器，可数字调Q范围为2 kHz-2 MHz 4. 开尔文探针显微镜模块：分辨率不小于10 mV。 5. 双频共振压电力显微镜模块：共振频率范围不小于1 kHz-1.5 MHz，能够保证在接触共振频率的两个肩峰±10 kHz内激发和检测PFM信号。6. 高压模块：可输出不小于220 V高压信号7. 导电模块：电流分辨率1 pA ,可测电流不小于1 pA-20 nA范围。

扫描探针显微镜功能广泛，适用于各个研究领域，包含压电响应力显微镜模式(PFM)、Kelvin探针显微镜模式(KPFM)、静电力显微镜模式(EFM)、磁力显微镜模式(MFM)、力曲线模式、纳米刻蚀和纳米操纵等，满足以下科研需求：(1) 可以测试高分子聚合物或复合材料的表面形态、纳米力学性质、测量表面电荷、电势和功函数；(2) 表征薄膜的粗糙度和均匀度、硬度和耐久性、导电性；(3) 新型材料如压电铁电材料的表面电畴结构、畴翻转谱；(4) 能源材料如太阳能光伏材料、电池和电化学材料、石墨烯、二维铁电材料等的微观结构。

AFM、PFM、CAFM、KPFM

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