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等离子体增强沉积系统

规格型号：PECVD-150
仪器分类：工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
生产厂商： 北京中科泰龙电子技术有限公司
仪器类别： 通用
仪器状态： 正常
郑州大学
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真空度：1X10-3pa以下
温度：800℃以下
金属及氧化物镀膜
1.由计算机进行工艺参数设定，具有专用控制软件，软件具有工艺参数设置，硬件自我故障诊断与检测功能；
2.镀膜厚度在系统中自动设定条件，无需手调；
等离子体方法镀膜
1）收费标准中仅为机时费，我方不负责检测或制作样品成败之责。需根据样品具体特性和要求面议! 2)时间计算:从样品装载及开机准备起算，至少收取一片费用
6英寸晶圆：院内800元/片；校内1000元/片；校外1200元/片。
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