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1. 支持的扫描模式:白光干涉、相位差干涉、共聚焦、主动照明式多焦面叠加、膜厚模式;
2. 测量显示分辨率:0.001nm;
3. Z轴测量分辨率:共聚焦最大1nm, VSI模式下1nm, PSI 模式下最高可达0.1nm;
4. Z轴测量精度误差:<0.5%;
5. Z轴测量重复性误差:0.1%。 -
非接触式3D光学轮廓仪,能够测量不同的材质,结构,表面粗糙度和波度(平面度),几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的高端形貌测量应用。
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1. 提供固态样品的粗糙度、平面度和厚度测量服务;
2. 出测试报告,并给出完整的测量数据;
3. 提供一定的测量结果分析咨询服务 -
1. 仅供固态无腐蚀、无毒性样品测量分析;
2. 请与测试人员沟通具体测量需求。 -
1. 500元/小时;
2. 200元/样品/扫描模式。