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1、观察方式:激光、激光微分干涉衬观察方式;白光明场、白光偏光及白光微分干涉衬观察方式(须提供硬件微分干涉棱镜),激光采用双共聚焦光路观察,放大倍率不小于17000倍;内置光学变倍器,激光及白光彩色图像均可使用,倍率为1~8倍;
2、镜体:整体式一体结构,本体内置四角阻尼防震。
3、激光: 405nm半导体激光光源,白光: LED光源照明方式
4、分辨率:X/Y平面分辨率不低于0.12um,Z轴显示分辨率不低于0.5nm,
Z轴采用≤0.78nm光栅尺。
5、电动载物台:原产超声波电动载物台,X/Y行程范围不小于100mmX100mm,并有多幅图像拼接功能,且拼接后可以进行数据测量;Z轴最大测量范围不小于10mm;Z轴聚焦行程不小于100mm, 单次扫描视野范围不小于16μm~5,120 μm,Z轴在10mm内电动控制,并可以自动聚焦。
6、测量分析系统:可在2D及3D图像上直接测量三维形貌数据,软件可完成点、线、面积、体积等数据分析;并有精准专业的表面粗糙度测量功能。
7、设备精度保证:测量重复性精度:XY方向重复精度:20x不低于0.0 -
激光、激光微分干涉衬观察方式;白光明场、白光偏光及白光微分干涉衬观察方式(须提供硬件微分干涉棱镜),激光采用双共聚焦光路观察,放大倍率不小于17000倍;内置光学变倍器,激光及白光彩色图像均可使用,倍率为1~8倍;扫描单元必须采用物镜上下移动聚焦扫描原理,避免因载物台上下移动聚焦所产生的测量精度不良及扫描速度缓慢等问题。
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拍摄合金表面形貌及其粗糙度测量
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被测样品为金属块状样品,无放射性、挥发性。
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200元/h