形状测量激光显微系统

408nm半导体激光，测量精度0.001um；
放大倍数200~24000（3000倍SEM）；
仿彩色SEM，16 bit 激光彩色观察；
非接触式扫描，可用于测量软质表面；
最大样品高度28mm（使用隔片和机架可达到128mm），载物台最大负荷：5Kg；
物镜倍数：10X、20X、50X、150X；光学变焦：1~6倍；
操作距离（mm）：16.5、3.1、0.35、0.2；数值孔径：0.3、0.46、0.95、0.95；
高度测量：显示分辨能力：0.001um，重复精度：0.014um；宽度测量：显示分辨能力：0.001um，重复精度：0.02um；
测定用激光：波长：408 nm，最大输出功率：0.9mw。

形状测量激光显微系统是可以同时进行深焦点深度的观测与三维测量的观测、测量仪器。不受样本大小和材质的限制，并可以在常温环境下进行观测，操作简便且可如光学显微镜般使用。无需对样本进行预处理，还能进行彩色观测，可以准确分析出目标对象的状态。还能观测透明体的膜表面、膜内部和背面，并测量膜形状的厚度。
与SEM 和AFM 相比使用更加方便，但观测倍率和测量分辨率较低。另外，对于高宽比较高的底部或角度较大的斜面，激光反射无法返回，因而不能进行观测、测量。

1.检测倍率42 至 28800，无需对焦
2.非接触瞬间扫描形状，纳米级别准确测量，测量透明体和坡度大目标
3.定量化微小形状，多样品表面差异，粗糙度分析
4.三重扫描方式，激光共聚焦、白光干涉和聚焦变化，高低倍率，细微粗糙度，镜面体，透明体
5.深焦点深度彩色观测目标对象；三维形状，彩色3D 图像，透明体膜厚测量；在大气中进行分析，无需预处理样本；不受样本大小和材质的限制，操作简单，通用性强

严格履行预约制度，遵守仪器使用规范。

校内 200元/小时；校外 400元/小时