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微波等离子体化学气体沉积系统

规格型号:优普莱 UP-230
仪器分类:分析仪器 -> 电化学仪器 -> 其他
生产厂商: 玉德科技集团股份有限公司
仪器类别: 通用
仪器状态: 正常
中原工学院
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"微波发射器频率:2.45 GHz, 915 MHz;沉积功率: 3-6 kW;
等离子团直径:70 mm,
工作气压范围:0-1000mBar; "
气相沉积制备块体或薄膜材料
制备大尺寸宝石级单晶钻石,高取向度金刚石晶体,纳米结晶金刚石,碳纳米管/类金刚石碳(DLC)
提前一周预约. 遵守操作流程。
按协议规定收费
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