聚焦离子束/扫描电镜双束工作站

电子束：
分辨率： ≤1.0 nm@15KV ，≤1.9 nm@1kV
放大倍率：12x ～ 1000kx
最低加速电压：≤0.1kV
无漏磁电磁物镜+静电透镜复合物镜结构，可对磁性材料近距离高分辨观察；
能实现高分辨率观察下的边切边看实时观察（非小物镜模式）；
离子束：
离子束分辨率： ≤ 2.5nm@30kV；（多边统计法）
放大倍率：300x ～ 500kx（宝丽来图像版式）；
加速电压：最低加速电压不高于1KV，最高加速电压不低于30 kV；
纳米机械手是双束聚焦离子束分析的重要附件，可以为提取FIB切割后的微小样品，很方便的为透射电镜进行样品制备。
同时和FIB配合，也可以对纳米材料进行搬运、操纵，大大扩展双束聚焦离子束分析的功能；

1.纳米加工
2.纳米原型设计
3.2D/3D纳米表征
4.纳米分析

双束系统服务于中场发射扫描电镜主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌，聚焦离子束用来对样品进行在纳微米尺度下的切割、刻蚀，透射样品制备等工作。

请提前一周预约

校内常规100元一个样品，校外常规200元一个样品