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1 测试功能:单层或多层膜厚度、折射率、消光系数等参数
2 软件功能:专用软件采集所有测试数据,
3 针对不同材质测试的预置测试分析程序,可新增加的材质的分析程序。
4 样品尺寸满足:150mmx150mm范围,具有兼容性。样品台具有灵活的XY 运动调节功能。
5 探头类型:1024像素CCD阵列,光谱分辨率:0.3 nm~2 nm。
6 标准卤素灯及氘灯光源:工作寿命为2000小时,光谱范围覆盖200 nm-1700 nm。
7 薄膜厚度测量范围:4 nm~100 um
8 薄膜厚度测试精度:0.03 nm(730 nm SiO2膜上测量30次)
9 最小测试光斑直径 17um
10 可视化显示样品的真实测量位置
11 精密的方形测量光斑 -
对光学薄层的参数进行检测和分析
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光学薄层分析仪主要利用针对反射和干涉法得到的光谱进行回归计算来得到薄膜样品的厚度、折射率、消光系数等参数,主要应用于针对溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的制备的薄膜进行高精度的厚度测量。相较于椭偏仪,在非超薄膜(4 nm以内)的测试上具有非常好的精度及便捷性等特点,针对较厚薄膜测试方面具有椭偏仪不具备的测试能力,而在价格上相对于椭偏仪又具有非常明显的优势。
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不对外共享
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50元/样品