欢迎访问开封市科研设施与仪器共享服务平台!
0371-25959123
大家都在搜: 原子吸收分光光度计 紫外

深刻机(DRIE)

规格型号:omega LPX ICP-SR
仪器分类:工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
生产厂商: SPTS Technologies limited
仪器类别: 通用
仪器状态: 待修
郑州大学
登录用户才能看到联络人信息和联络方式,请登录
1、4英寸晶圆
2、刻硅:Si、Ti、Pt等多种材料
3、EBS电压及He冷背压
4、刻蚀速率:0.01~3.5um/min
5、侧壁角度:90°+-1°
目标材料上面等离子体刻蚀深槽,主要应用于MEMS
MEMS的刻蚀
待修,暂时不对外开放。
1000元/时
热门预约

多段编程生化培养箱

分类:分析仪器 -> 其他 -> 其他

服务次数:345

  河南省水产科学研究院

单光子激光共聚焦显微镜

分类:分析仪器 -> 显微镜及图像分析仪器 -> 激光共焦显微镜

服务次数:240

  河南省立眼科医院

扫描电子显微镜

分类:分析仪器 -> 电子光学仪器 -> 扫描电镜

服务次数:234

  郑州航空工业管理学院

总有机碳分析仪

分类:分析仪器 -> 环境与农业分析仪器 -> 土壤养分测试仪

服务次数:230

  河南省水产科学研究院

液相色谱仪

分类:分析仪器 -> 色谱仪器 -> 液相色谱仪

服务次数:224

  河南省水产科学研究院

多通道连续流动分析仪

分类:分析仪器 -> 质谱仪器 -> 同位素质谱仪

服务次数:203

  河南省农业科学院植物营养与资源环境研究所