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探针台

规格型号：MPS150
仪器分类：其他仪器 -> 其他 -> 其他
生产厂商： cascade公司
仪器类别： 专用
仪器状态： 待修
郑州大学
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1、载物台：尺寸：150MM，不锈钢。
2、主载物台：晶圆尺寸：25M-150MM，移动范围：155*155MM，分辨率：5um
3、平整度：<=10um，y轴取放片行程90MM
4、显微镜系统：手动，可调范围：150*150mm，倍数200*,CCD像素200万，显示其尺寸：21英寸
配合矢量网络仪及半导体参数分析仪进行在片测试
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