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大家都在搜: 原子吸收分光光度计 紫外

多晶硅薄膜制备系统

规格型号:PECVD
仪器分类:工艺实验设备 -> 加工工艺实验设备 -> 其他
生产厂商: 中国科学院沈阳科学仪器研制中心
仪器类别: 专用
仪器状态: 偶有故障
郑州大学
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1、本底真空低于6.67*10-5Pa;
2、放电频率:常规射频和甚高频;
3、进样室和3个沉积室。
1、可分别沉积本征、p型和n型薄膜;
2、可沉积非晶和微晶硅薄膜;
3、可沉积碳薄膜和其它薄膜。
1、可分别沉积本征、p型和n型薄膜;
2、可沉积非晶和微晶硅薄膜;
3、可沉积碳薄膜和其它薄膜。
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