X射线光电子能谱仪

1.标配XPS全谱/窄谱、角分辨XPS、XPI化学态成像、离子散射谱(ISS)、反射电子能量损失谱(REELS)、深度剖析及荷电中和系统；
2.具有双阳极XPS、紫外光电子能谱(UPS)、离子簇套件刻蚀枪(MAGCIS)等功能；
3.使用微聚焦Al Kα线(1486.6eV)单色化X射线源，束斑尺寸900~20μm可调，调节步长小于10μm；
4.X射线阳极靶具有20个以上靶点位置，保证X射线辐照的稳定的束流密度，确保仪器长时间稳定运行；
5.能量分辨率优于0.45eV，灵敏度优于2.5Mcps@1.0eV；
6.多通道光电倍增器+二维阵列探测器的双检测器系统，可实现空间分辨率< 3μm的并行化学态成像

多功能型X射线光电子能谱仪以XPS分析系统作为主机基本单元，可以兼容紫外光电子能谱（UPS）、离子散射谱（ISS）、无损深度分析等其它表面分析技术。适于各类具有粉末、薄膜、纤维和块体等不同形态的金属、非金属、半导体、氧化物和化合物、复合材料、纳米材料以及生物材料的表面几个原子层（1～10nm厚的表面）的化学组成、价态，深度剖析及成像、功函数特性等的分析与表征。

对各类具有粉末、薄膜、纤维和块体等不同形态的金属、非金属、半导体、氧化物和化合物、复合材料、纳米材料以及生物材料的表面几个原子层的化学组成、价态，深度剖析及成像、功函数特性等的分析与表征。

按校内大型仪器共享平台网站预约申请测试、书面缴纳测试费。

400元/样品（校外），200元/样品（校内），仅限XPS全谱、窄谱分析；UPS测试分析。