纳米通用图形发生器

作图方式 矢量扫描
作图精度 采用16位高精度D/A
曝光速度 图形发生器控制速度 10MHz
工件台移动范围 50mm×50mm
工件台测量精度 60nm（光栅测量）
工件台最大移动速度 25mm/s
曝光范围 20mm×20mm
最小线宽 ≤70nm（W灯丝）
图形拼接精度 120nm
多场图形套刻精度 120nm

DY-2000A型纳米通用图形发生器是纳米加工的重要装备，与扫描电子显微镜(FESEM)结合使用，构建成纳米加工的重要设备，进行纳米图形加工和纳米微结构制造。

微米或纳米级电极和线条的制作、技术咨询等

按校内大型仪器共享平台网站预约申请测试、书面缴纳测试费。

400元/样品（校外），200元/样品（校内）。