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2012000913-热丝-PECVD及硬碳膜镀膜装置

规格型号:双室450型
仪器分类:工艺实验设备 -> 加工工艺实验设备 -> 热处理加工工艺实验设备
生产厂商: 沈阳科学仪器研制公司
仪器类别: 通用
仪器状态: 正常
河南工业大学
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1、腔体直径450
2、灯丝功率9000W,
3、衬底温度600-2000度
硬碳膜沉积制备
材料表面改性,提高耐磨性
1、提前一周预约 2、提供基体(需要基体预处理) 3、基体尺寸最大不超过30mm(直径) 4、室内禁止吸烟和明火 5、遵守学校实验室管理规定
每机时150元
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