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高精度紫外光刻机

规格型号：SUSS MICROTEC MJB4
仪器分类：工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
生产厂商： SUSSMICROTEC LITHOGRAPHY DMBH公司
仪器类别： 通用
仪器状态： 正常
郑州大学
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4英寸晶圆曝光
该型号光刻机创新采用三柔性支点实现高精度自动调平曝光、复位实现自动化控制；采用专利技术积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙；采用双目双视场显微镜实现高对准精度。
该型号光刻机创新采用三柔性支点实现高精度自动调平曝光、复位实现自动化控制；采用专利技术积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙；采用双目双视场显微镜实现高对准精度。
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